去除半導體製造過程中產生的粒子,提供符合客戶需求的過濾與分離方案。
O型環是用於維持半導體生產設備內部真空狀態的零組件。由於設備內可能存在各種嚴苛環境,因此需要高度的耐熱性與耐化學性。
MFC為Mass Flow Controller(質量流量控制器)的縮寫,是在半導體製造過程中,高精度控制所需氣體質量流量的裝置。